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真空烤箱的工作性能

2019-08-23

真空烤箱的工作性能

豆制品烤箱厂家

       在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺尤为重要。 

       起初,人们用液态的HMDS直接涂到晶片上,然后借着晶片的高速旋转在晶片外表形成一层HMDS膜。这样就阶段性的处理了基片和光刻胶之间的结合问题,但随着光刻线条的越来越细,胶的越来越薄,对粘附力提出了更高的要求,所以HMDS真空豆制品烤箱被研发呈现。

       技术指标:

  1.机外壳选用冷扎钢板喷塑处理,内胆为不锈钢316L资料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。双层玻璃门观察作业室内物体一目了然。

  2.箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,保证箱内高真空度。

  3.微电脑智能控温仪,具有设定,测定温度双数字显现和PID自整定功用,控温精确,牢靠。

  4.智能化触摸屏控制体系配套PLC模块可供用户根据不同制程条件改动程序,温度,真空度及每一程序时刻。

  5.HMDS气体密闭式主动汲取添加规划,真空箱密封性能佳,保证HMDS气体无外漏顾忌。整个体系选用优质资料制作,无发尘资料,适用100级光刻间净化环境。

  6.HMDS管路加热功用,使HMDS液体进入箱体的前端管路加热,使转为HMDS气态时更易。

  7.低液报警装置,选用红外液体感测器,能及时灵敏给出指令(当HMDS液过低时宣布报警及及时切断作业起动功用)

  8.温度与PLC联动保护功用(当PLC没有启动程序时,加温功用启动不了,相反加温功用启动时,PLC程序不按正常走时也及时切断作业功用,宣布警报)

  9.整个箱体及HMDS气体管路选用SUS316不锈钢资料,整体运用无缝焊接(避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害)

豆制品烤箱厂家

       武冈中盛真空豆制品烤箱的优点:

       1.预处理性能好,由所以在通过数次的氮气置换再进行的HMDS处理,所以没有尘埃的搅扰,再者,因为该体系是将"去水烘烤"和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在容器里先通过100℃-200℃的去水烘烤,再接着进行HMDS处理,不需要从容器里传出,而接触到大气,晶片吸收水分子的时机下降,所以有着较好的处理作用。

       2.处理愈加均匀。因为它是以蒸汽的方式涂布到晶片外表上,所以比液态涂布更均匀。

       3.效率高。液态涂布是单片操作,而本体系一次可以处理多达4盒的晶片。

       4.愈加节省药液。实践证明,用液态HMDS涂布单片所用的药液比用本体系处理4盒晶片所用药液还多;   

       5.愈加环保和安全,HMDS是有毒化学药品,人吸入后会呈现反胃、吐逆、影响胸部、呼吸道等,因为整个过程是在密闭的环境下完结的,所以不会有人接触到药液及其蒸汽,也就愈加安全,它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机,所以也不会对环境形成污染。

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